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FLEX 多通道光谱仪

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产品名称: FLEX 多通道光谱仪
产品型号: MCS FLEX 系列
产品展商: CARL ZEISS
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简单介绍

FLEX多通道光谱仪是应用了滨松的S3904-1024Q和S7301-1006Q的多通道应用光谱仪


FLEX 多通道光谱仪  的详细介绍
MCS FLEX 系统专为移动高性能测量而设计;能在实验室和工艺流程监测中提供可靠结果。灵活设计使其用途广泛,且能够直接集成至线旁、在线和线内检验工艺流程中。根据应用的不同,可提供各类核心模块设计。光纤切面转换器和探测器能轻松按需定制。
 

MCS FLEX 系列的组件
  • 光纤交叉切面转换器和/或狭缝作为光学输入
  • 成像、像差校正光栅
  • 作为光电输出的光电二极管阵列或薄型背照式 CCD 均连接至核心模块
  • 接口、处理软件和技术支持


优势

  • 紧凑型设计
  • 超轻重量
  • 几乎不受外界因素影响
  • 灵活的模块布局
  • 低温度漂移
  • 低杂散光



  1. 使用 Hamamatsu S3904-1024Q 型硅二极管阵列(MCS FLEX PDA)
  2. 二极管阵列直接镀有介质截止滤光膜,用以抑制高阶衍射
  3. 使用 Hamamatsu S7301-1006Q 薄型背照式 CCD 为紫外光提供出色的灵敏度(MCS FLEX CCD)
  4. 集成 Peltier 元件来减少暗电流
  5. 核心模块由特殊铝合金制成
  6. 像差校正光栅、交叉切面转换器或机械式狭缝和探测器均连至机箱上,坚固耐用且具有出色的稳定性
  7. 全息闪耀平场光栅
  8. 全息像差校正光栅可获得约 25 mm 长的平面光谱
  9. 通过反应性离子束蚀刻(RIBE)来优化光栅衍射效率
  10. 使用数值孔径高达 0.22 的光纤作为光学输入
  11. 光纤束交叉切面转换器能将圆形光束转换成槽形光束
  12. 狭缝尺寸可根据传感器阵列的像素大小及平场光栅的成像和分散特性进行调整
  13. 风冷散热器


MCS FLEX系列中的光谱仪具有良好的分辨率高,重复性好。全部光学元件固定中央主体,确保稳健的设计
MCS FLEX系列改变了光纤切面转换器与传感器连接设计,令分光器更适用于系统应用

主机体
MCS FLEX 光谱仪的主机体外壳是铝合金制造,合金的膨胀系数a-13E-6。平场凹面光栅是像差校正光栅,光纤切面转换器(机械狭缝作输入光学口)组成主机体,令仪器更想稳定及可靠。
中空的机体令仪器可测量更广波长範围UV-NIR

光栅
用于MCS FLEX 的光栅是得益于全息闪耀平场光栅的优化效果,加上使用离子束刻蚀对每段波长特别优化,通过全息像差校正每25nm都得到均化,得出的光栅平面可量化至光进光纤投影达至NA=0.22成像。


切面转换器
一束光纤切面转换器再经新优化设计增大光强直线排行组成的光输入口(窄缝高度h由光纤数量决定,窄缝阔度w由光纤芯直径决定)窄缝可调至二极管像素及平埸光栅的色散成像特性得到优化,甚至接近理论极限数值。切面转换器是光谱仪的组成部分,经过精密计算和设计,没有可随意改变空间。可变部只有光纤长度及窄缝设计。紫外线光源发出的辐射于220-250nm,建议使用经过处理的耐日晒光纤,藉以承受深紫外线光子破坏,长时间保持高透射率。所以光纤越短越小影响。但光谱在225 nm或以下,建议用强阳光线加WG 225 过滤片(约3mm厚)。

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